什么是浮柵場效應(yīng)管?干貨解析-KIA MOS管
信息來源:本站 日期:2021-01-12
閃存(Flash)技術(shù)利用的場效應(yīng)管就是浮柵場效應(yīng)管。
FLASH技術(shù)是采用特殊的浮柵場效應(yīng)管作為存儲(chǔ)單元。這種場效應(yīng)管的結(jié)構(gòu)與普通場管有很大區(qū)別。它具有兩個(gè)柵極,一個(gè)如普通場管柵極一樣,用導(dǎo)線引出,稱為“選擇柵”;另一個(gè)則處于二氧化硅的包圍之中不與任何部分相連,這個(gè)不與任何部分相連的柵極稱為“浮柵”。
通常情況下,浮柵不帶電荷,則場效應(yīng)管處于不導(dǎo)通狀態(tài),場效應(yīng)管的漏極電平為高,則表示數(shù)據(jù)1。編程時(shí),場效應(yīng)管的漏極和選擇柵都加上較高的編程電壓,源極則接地。
這樣大量電子從源極流向漏極,形成相當(dāng)大的電流,產(chǎn)生大量熱電子,并從襯底的二氧化硅層俘獲電子,由于電子的密度大,有的電子就到達(dá)了襯底與浮柵之間的二氧化硅層,這時(shí)由于選擇柵加有高電壓,在電場作用下,這些電子又通過二氧化硅層到達(dá)浮柵,并在浮柵上形成電子團(tuán)。
浮柵上的電子團(tuán)即使在掉電的情況下,仍然會(huì)存留在浮柵上,所以信息能夠長期保存(通常來說,這個(gè)時(shí)間可達(dá)10年)。由于浮柵為負(fù),所以選擇柵為正,在存儲(chǔ)器電路中,源極接地,所以相當(dāng)于場效應(yīng)管導(dǎo)通,漏極電平為低,即數(shù)據(jù)0被寫入。
擦除時(shí),源極加上較高的編程電壓,選擇柵接地,漏極開路。根據(jù)隧道效應(yīng)和量子力學(xué)的原理,浮柵上的電子將穿過勢壘到達(dá)源極,浮柵上沒有電子后,就意味著信息被擦除了。
由于熱電子的速度快,所以編程時(shí)間短,并且數(shù)據(jù)保存的效果好,但是耗電量比較大。
浮柵
Flash最基本的單元為浮柵場效應(yīng)管。浮柵是一種特殊的MOS晶體管。
這種MOS晶體管有兩個(gè)多晶硅形成的柵極, 其中一個(gè)有電氣連接, 叫控制柵, 也就是一般意義上的柵極; 還有一個(gè)沒有外引線, 它被完全包裹在一層二氧化硅介質(zhì)層里面, 是浮空的, 所以稱之為浮柵。
工作原理
浮柵MOS晶體管的工作原理是利用浮柵上存儲(chǔ)的電荷量來改變MOS管的閾值電壓,從而改變MOS管的外部特性。
過程描述如下:當(dāng)MOS管柵極加上較高的電壓(20V左右),源極接地,漏極浮空,然后會(huì)產(chǎn)生大量高能電子,由于電子密度大,有的電子到襯底和浮柵之間的二氧化硅層,由于選擇柵有高電壓,這些電子通過隧穿氧化層(Tunnel Oxide)到達(dá)浮柵。
當(dāng)移除外部電壓,由于浮柵沒有放電回路,所以電子會(huì)留在浮柵上。當(dāng)浮柵帶有電子,襯底表面感應(yīng)的是正電荷,這樣使得MOS管導(dǎo)通電壓變高。
反之,當(dāng)控制柵極接地,襯底加上較高電壓,源、漏極開路,電子會(huì)從浮柵中“吸出”,MOS管導(dǎo)通電壓變低。
浮柵中電荷量,影響到MOS管的導(dǎo)通電壓,從而代表不同的存儲(chǔ)信息。比如說一個(gè)杯子,沒有水的時(shí)候,代表“0”,當(dāng)水超過一半,代表“1”。
不足
浮柵中存在泄漏的情況,使得電子在浮柵上的保持特性受到影響。主要有:直接隧穿效應(yīng)、熱激發(fā)、浮柵上電子陷阱:在浮柵充電過程中,電子被電子陷阱捕獲,從而使得浮柵的電位降低,導(dǎo)致降低在Control Gate上加的電壓影響。
總結(jié)
所以降低隧穿氧化層缺陷、提高隧道氧化層和兩層多晶硅之間的氧化層質(zhì)量就成了關(guān)鍵的問題。
對于我們使用者來說,由于隧穿會(huì)損傷隧穿氧化層,所以磨損均衡就很重要了。另外把性能差的挑選出來,不去使用,也是重要的問題。
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