MOS器件退化簡介及退化機(jī)理介紹-KIA MOS管
信息來源:本站 日期:2021-07-29
器件退化的含義:
也就是隨著應(yīng)力時(shí)間的推移,輸出電流下降,同時(shí)閾值電壓增加,至于Vg=Vd/2的含義,簡單講,柵電壓時(shí)漏電壓一半的時(shí)候,襯底電流最大,同時(shí)漏端因?yàn)閵A斷點(diǎn)推移而出現(xiàn)的空間電荷區(qū)的場強(qiáng)最強(qiáng),從而導(dǎo)致熱載流子最嚴(yán)重,所以器件最容易退化。
我們來對(duì)比一下器件退化與擊穿的差異:盡管沒有擊穿,但是器件也是性能發(fā)生了降低,也就是會(huì)影響器件的使用壽命。
器件壽命的定義:
器件退化的機(jī)理:如前所講,器件出現(xiàn)夾斷點(diǎn)時(shí),也就是器件進(jìn)入飽和工作區(qū)時(shí),漏端出現(xiàn)空間電荷區(qū),從而出現(xiàn)熱載流子效應(yīng)。
產(chǎn)生機(jī)制:
需要注意以下幾點(diǎn):
飽和狀態(tài)下空間電荷區(qū)位于柵下靠近漏端一側(cè)
靠近漏端的空間電荷區(qū)具有:
高電場
熱載流子
電離碰撞產(chǎn)生電子空穴對(duì)
熱載流子的產(chǎn)生是非均勻的
襯底電流:
熱載流子會(huì)產(chǎn)生的2種物理缺陷:氧化層缺陷和界面態(tài)缺陷。
熱載流子的物理描述:
界面態(tài)陷阱和氧化層陷阱的產(chǎn)生:
氧化層缺陷產(chǎn)生機(jī)理:
氫解析模型和兩種模型共同作用
氧化層電荷的電學(xué)影響:氧化層電荷增加,自然引起VT變化,這也是熱載流子效應(yīng)比較明顯的結(jié)果;如果VT變高,自然導(dǎo)致漏電降低。
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